金相樣品的制備要得到好結果，清潔是相當重要的。伴隨著磨光和拋光的每一步操作，要相應地進行一次清潔，把磨光和拋光時的磨料顆粒從試樣上完全消除，以免污損，影響下一步的制樣效果。細磨到粗拋這一步特別關鍵，需要徹底地清潔?；瘜W拋光或電解拋光之前，試樣表面要無油脂。試樣表面上的殘渣、手印和不易覺察到的膜，能夠使試樣各部分的浸蝕速度不一樣，干擾浸蝕。清潔的方法不少，Z常用的是漂洗。可以直接在流水下沖洗；也可以在盛水容器中漂洗。漂洗時可以用柔軟毛刷或棉花球拭擦。

超聲波清洗是Z有效和徹底的清洗方法。不僅能夠消除表面的污染，而且能夠把裂縫、空腔中保留的細粒物清除掉。超聲波清洗只需10到30秒。所以超聲波清洗是目前很受歡迎的方法。

清洗后試樣應當快速干燥。首先在酒精、苯或其他低沸點的液體中漂洗，然后置于熱空氣吹干機下，使裂縫、孔洞中保留的液體蒸發(fā)，表面不留任何殘跡。